| Climber系列全自動(dòng)晶圓植球整線 | |
| 植球精度 | ±20 |
| 植球能力范圍 | ≥150um |
| 漏球率 | ≤0.01%（正常產(chǎn)品無(wú)翹曲） |
| 最大晶圓尺寸 | 12英寸 |
| 最小晶圓尺寸 | 4英寸 |
| 晶圓厚度尺寸 | 0.1~6mm |
| 鋼網(wǎng)框架尺寸 | 650*750mm(厚度：20-40mm） |
| 傳輸方向 | 機(jī)械手、同進(jìn)同出 |
| 定位方式 | 尋邊機(jī)（中轉(zhuǎn)機(jī)器人自帶） |
| 清洗方式（印刷） | 干擦、濕擦、真空擦、高速清洗 |
| 清洗方式（植球） | 植球干擦+粘輪+真空吸+離子風(fēng) |
| 整線功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 4KW |
| 整線設(shè)備尺寸 | L2855mm*W1410mm*H1495mm(不含三色燈） |
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