| GD612 高精密固晶機 | |||||||||
| 固晶周期 | ≥450ms? 精準模式：UPH5~8K/h ?????????? 標準模式：UPH10~15K/h （實際產(chǎn)能取決于芯片與基板尺寸及制程工藝要求） | ||||||||
| 固晶位置精度 | 精準模式：±10um 標準模式：±20um | ||||||||
| 芯片角度精度 | 精準模式：±1° 標準模式：±3° | ||||||||
| 芯片尺寸 | 0.2*0.2-9*9mm | ||||||||
| 適用支架尺寸 | L：100-200mm W：50-120mm | ||||||||
| 設備外型尺寸（L*W*H) | 1760（正面長）*1390(側面縱深)*2165(高度)mm? | ||||||||
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